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管式炉

三温区CVD管式炉

产品名称:三温区CVD管式炉
所属类别:管式炉
产品编号:20180831110858
更新日期:2018-08-31 11:08:58



主要用途:该系统广泛用于各种反应温度在1100℃左右的CVD实验,真空烧结、真空气氛保护烧结、纳米材料制备、电池材料制备等多研究领域。

产品介绍:


JCF-31200型CVD管式炉由管式炉+真空系统+供气系统组成 ,最高温度可以达到1200度,可以是单温区、双温区、三温区等,极限真空可以达到10-3Pa,供气系统是流量调节可以是质子流量计或浮子流量计,混气路数可以是2路、3路、4路、5路相混合。

JCF-31200管式炉采用掺钼合金加热丝为加热元件,采用双层壳体结构和宇电控温仪表,能进行30段程序控温,移相触发、可控硅控制,炉膛采用日本进口氧化铝多晶纤维材料,具有温场均衡、表面温度低、节能等优点。




应用范围:



JCF-31200型CVD炉是一种特殊的CVD系统,是高校、科研院所、工矿企业做高温气氛烧结、气氛还原、CVD实验、真空退火用的理想产品。



规格参数:

拉菲2登录壳体,采用双层壳体结构,并带有风冷系统,使得壳体表面温度小于55℃,内炉膛表面涂有1750℃进口氧化铝涂层材料提高反射率及炉膛洁净度 

功率 2.5 KW

电压 AC 208-240V 单相, 50/60 Hz 

加热元件 含钼电阻丝(表面涂有氧化锆涂层,使其最大程度延长使用寿命)

最高工作温度 1200℃

连续工作温度 1100℃

最快升温速率 <= 20℃/min

炉管材质和尺寸 石英管: OD: 80mm x  ID: 75 mm x Length: 1000 mm 

加热区长度 200mm*3

恒温区长度 100mm*3

控温系统 PID30段程序化控温

控温精度 +/-1℃

真空密封系统 两个不锈钢密封法兰(上面已安装真空计和截止阀)

真空泵 采用双旋机械泵,机械泵上安装有油污过滤器,可以过滤真空泵工作时产生的油烟,减少泵油的损耗,保护环境和人体健康,过滤的最小微粒直径为0.3微米。

数字式真空显示计   进口CVM-211数显真空计,已安装在不锈钢法兰上,测量范围为10-4Torr~1000Torr 

混气系统 三个浮子流量计(准确率4%FS)

三路浮子量程分别为

10-100 cc/min.

16-160 cc/min.

25-250 cc/min

内部安装有一混气罐 

尺寸 炉体尺寸: 550 x 380 x 520mm

混气系统尺寸: 600x600x597 mm

净重 60kg


标准配件:



浮子混气系统1台、双旋机械泵1台、K型热电偶1支、气炼石英炉管1根、不锈钢法兰1套、不锈钢炉钩1、刚玉炉塞2对、高温手套1副、刚玉坩埚2个、说明书1份



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